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IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列

發(fā)布時間：2024-05-24 15:22:17人氣：681
  • IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列


用途：


Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant


特點(diǎn)：


綠色制造、全新系列干式真空泵

體積小、耗功低、大幅度降低成本

用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵


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產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊

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